Apa itu pelat pemoles wafer keramik alumina dengan kemurnian tinggi?

Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor, skala industri ini meningkat dengan cepat, dan peralatan manufaktur semikonduktor terus berevolusi menjadi lebih presisi dan kompleks. Karena keramik memiliki keunggulan kekerasan tinggi, modulus elastisitas tinggi, ketahanan aus tinggi, isolasi tinggi, ketahanan korosi, ekspansi rendah, dll., maka keramik dapat digunakan sebagai bagian dari mesin pemoles silikon, peralatan perlakuan panas epitaksial/oksidasi/difusi, mesin litografi, peralatan deposisi, peralatan etsa semikonduktor, mesin implantasi ion, dan peralatan lainnya. Oleh karena itu, penelitian dan pengembangan serta produksi komponen keramik presisi secara langsung memengaruhi perkembangan industri semikonduktor. Persyaratan teknis untuk pembuatannya semakin tinggi.

Alumina dengan kemurnian tinggi, 99,7%-99,9% alumina.
Kekuatan mekanik tinggi, ketahanan aus tinggi, isolasi listrik tinggi, stabilitas kimia tinggi, ketahanan panas dan korosi yang baik. Saat ini, penggunaan cakram gerinda keramik untuk menggerinda wafer silikon semikonduktor adalah metode penggerindaan yang paling unggul dan mutakhir. Proses penggerindaan dua sisi digunakan untuk menggerinda wafer silikon yang telah dipotong, dan kualitas wafer yang digerinda ditingkatkan dengan memperbaiki proses penggerindaan (bahan cakram, cairan gerinda, tekanan gerinda dan kecepatan gerinda, dll.). Secara khusus, penggunaan pelat keramik sebagai pengganti pelat besi cor, untuk menghindari penggerindaan pada permukaan utama wafer yang menyebabkan bekas luka atau polusi, mengurangi masuknya ion logam, dapat mengurangi pemrosesan silikon selanjutnya, mempersingkat waktu proses selanjutnya (korosi), meningkatkan efisiensi produksi, dan mengurangi kehilangan pemrosesan silikon, sehingga sangat meningkatkan pemanfaatan silikon.

Pelat pemoles wafer alumina tinggiAlumina digunakan dalam industri semikonduktor, perminyakan, kimia, fotovoltaik, kristal cair, dan industri lainnya, seperti komponen mekanik, komponen elektronik, cakram induksi gelombang mikro, bahan isolasi, dan komponen lainnya, perangkat semikonduktor, peralatan vakum, peralatan manufaktur kristal cair, dan komponen lainnya. Keramik alumina berukuran besar dan berkemurnian tinggi memiliki nilai aplikasi penting dalam industri safir dan industri chip semikonduktor. Ini merupakan pendukung dan bahan habis pakai utama untuk pemolesan mekanik kimia (CMP) wafer safir dan silikon semikonduktor. Keramik alumina berukuran besar dan berkemurnian tinggi juga dapat digunakan sebagai substrat alumina untuk LCD.