Chemshunpelat pemoles wafer aluminaMeja putar ini terbuat dari alumina dengan kemurnian tinggi 99,7-99,9%. Keramik alumina dengan kemurnian tinggi ini memiliki kekakuan yang luar biasa dan ketahanan aus yang sangat baik untuk pemolesan wafer serta mempertahankan bentuk permukaan yang baik dalam jangka waktu lama. Meja putar ini dibentuk oleh PIBM. Meja putar ini merupakan bagian dari industri semikonduktor karena stabilitas termal dan dimensinya yang tak tertandingi serta ketahanannya terhadap lingkungan peralatan pemrosesan mikrochip yang keras.
Chemical-Mechanical Planarization (CMP), juga dikenal sebagai Chemical-Mechanical Polishing, adalah teknologi dalam proses pembuatan perangkat semikonduktor. Teknologi ini menggunakan korosi kimia dan gaya mekanik untuk meratakan wafer silikon atau bahan substrat lainnya selama proses pengolahan.
Peralatan CMP terutama dibagi menjadi dua bagian: bagian pemolesan dan bagian pembersihan. Bagian pemolesan terdiri dari 4 bagian, yaitu 3 meja putar pemoles dan modul pemuatan dan pembongkaran wafer. Bagian pembersihan bertanggung jawab untuk membersihkan dan mengeringkan wafer untuk mencapai proses "pengeringan masuk dan pengeringan keluar" pada wafer. Dalam keseluruhan peralatan pemolesan, keramik alumina memainkan peran penting.
Keramik alumina biasanya digunakan untuk membuat cakram pemoles wafer, yang membutuhkan kemurnian tinggi, daya tahan kimia tinggi, dan kontrol yang baik terhadap bentuk dan kekasaran permukaan.
Cakram gerinda keramik Chemshun 99,7% Al2O3 terbuat dari bahan keramik canggih, yang cocok untuk penggilingan halus berbagai material, terutama untuk penggilingan material rapuh seperti wafer, keramik, dan kaca. Cakram gerinda keramik kami dapat dibuat dalam berbagai ukuran sesuai dengan model penggilingan dan pemolesan yang berbeda.
Waktu posting: 30 Mei 2025